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浙江鑫源净化设备有限公司

  • 主营产品:净化车间,手术室,彩钢复合风管,彩钢板
  • 公司地址:海宁市尖山新区听潮路11号
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送风量大

洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务,杭州洁净室厂家,这一任务的完成要依赖很高的送风量,是以高能耗为代价的。就送风量而言,一般办公大楼换气次数为10h-1左右,而大规模半导件器件厂房内,杭州洁净室,为了满足相应的洁净度要求,需要保证很高的换气次数,致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1,10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1,100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。



洁净厂房空调系统特点

洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。如今,半导体集成电路的发展突飞猛进,近英特尔公司更是推出了采用32

nm线宽的高端处理器芯片,杭州洁净室公司,把生产环境的洁净度控制推向了。另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,杭州洁净室价格,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。

 同时,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24

h运行,这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。



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